NanoX-2000/3000系列 3D干涉輪廓儀

               NanoX-2000                                NanoX-3000                                   NanoX-S

         NanoX-2000/3000系列3D干涉輪廓儀采用垂直掃描干涉和移相干涉技術，實現對樣品表面粗糙度、臺階高度、關鍵部位尺寸及其形貌特征的納米級三維精密測量。廣泛應用于微電子、MEMS、太陽能電池工藝、材料表面工程、超精密加工等領域。

       ● 關鍵硬件采用德國、日本等品牌

       ● 測量精度重復性高
       ● 配備進口第三方校準標準件
       ● 高性價比微觀形貌測量設備
       ● 迅捷的售后服務

NanoX-2000經典應用方向：

NanoX-S 應用方向：

太陽能測量應用方向：

國內數家上市企業12寸封裝產線配置NanoX-2000測試設備

NanoScopy 光機電一體化系統軟件：
       ● 光機電一體化軟硬件集成
       ● 縮放、定位、平移、旋轉等三維圖像處理
       ● 自主設定測量閾值，三維處理自動標注
       ● 測量模式可根據需求自由切換
       ● 三維圖像支持高清打印
       ● 菜單式參數設置，一鍵式操作，人機界面個性直觀
       ● 個性化軟件應用支持
       ● 可進行軟件在線升級和遠程支持服務

中國計量院認證書：

滿足您需求而設計的測量設備
覆蓋范圍廣： 兼容多種測量和觀察需求
保護性： 非接觸式光學干涉測量
可操作性：“一鍵式”操作更簡單
智能化：特殊形狀智能計算特征參數
個性化： 定制化測試報告

更好用戶體驗： 迅捷的售后服務，個性化應用軟件支持